- 产品描述
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1. 双主轴复合加工能力
卧式+立式双磨头:卧式主轴磨削外圆/直角边,立式主轴磨削平面/端面,实现一次装夹完成多工序加- 工,减少二次装夹误差。 ◦ 粗精磨自动切换:支持粗磨砂轮(如金刚石砂轮)与精磨砂轮(如树脂CBN砂轮)的自动切换,加工- 效率提升30%以上
2. 高精度定位与补偿系统 ◦ 全闭环控制:X/Y/Z轴配备光栅尺反馈,定位精度达0.01mm/300mm,重复定位精度0.005mm/300- mm,确保批量加工一致性。 ◦ 自动对刀与检测:集成激光对刀仪和厚度测量头,可实时监测工件尺寸并自动修正磨削参数,厚度误- 差控制≤±0.003mm
3. 真空吸盘与自动化设计 ◦ 真空吸附技术:Φ250mm真空吸盘(可选配电磁吸盘),吸力可调且带失磁保护,适合吸附薄型碳化- 硅圆片(厚度≥0.5mm),避免机械装夹损伤。 ◦ 智能加工流程:支持一键启动、自动循环磨削(粗磨→精磨→抛光),并可通过程序预设多段进给量- ,适配不同工艺需求
4. 全封闭防护与环保设计 ◦ IP54级防护:全封闭不锈钢罩壳配合吸雾系统,有效隔离磨削粉尘和冷却液飞溅,车间噪音≤75dB,- 符合环保要求。 ◦ 自动排屑与冷却:内置螺旋排屑器和200L磁性分离器,冷却泵压力≥0.3MPa,确保砂轮寿命和加工表- 面质量。
三、典型应用场景 1. 碳化硅晶体加工 · 磨削6英寸/8英寸碳化硅晶圆的平面、外圆及直角边,平面度≤0.01mm,表面粗糙度Ra≤0.2μm- ,满足半导体衬底加工要求。
2. 精密陶瓷部件制造· 加工陶瓷密封环、光纤插芯等精密部件,通过真空吸盘吸附实现无损伤装夹,加工精度可达±0.0- 05mm。
3. 蓝宝石衬底磨削 · 适用于LED蓝宝石衬底的边缘磨削和平面抛光,配合CBN砂轮可实现高效去除与精密修整。